課程資訊
課程名稱
 微感測器特論
Special Topics on Microsensors 
開課學期
 106-2 
授課對象
 工學院  應用力學研究所  
授課教師
 李尉彰 
課號
 AM7174 
課程識別碼
 543EM5370 
班次
  
學分
 3.0 
全/半年
 半年 
必/選修
 選修 
上課時間
 星期二7,8,9(14:20~17:20) 
上課地點
 應107 
備註
 本課程以英語授課。
總人數上限：10人 
課程網頁
 https://ceiba.ntu.edu.tw/1062sensors 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
 核心能力與課程規劃關聯圖
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

本課程教授各類常用微感測器原理，並利用開源硬體使學生熟悉感測器量測及應用。 

課程目標
 本課程以日趨重要之微感測器及開源硬體趨勢為出發點，目的為培養學生感測器理論及動手能力，以應未來趨勢所需。 
課程要求
 電子學實驗 
預期每週課後學習時數
  
Office Hours
 另約時間 
指定閱讀
  
參考書目
  
評量方式
(僅供參考)
    
課程進度
週次
日期
單元主題
Week 1
 2018/02/27  Administrative Information, Course Overview
Definitions for MEMS, MEMS History, Benefit of Scaling 
Week 2
 2018/03/06  Microfabrication Process: oxidation, film deposition, lithography, etching, ion implantation, diffusion, surface micromachining, bulk micromachining 
Week 3
 2018/03/13  Structural Elements
Resonance Frequency 
Week 4
 2018/03/20  Equivalent Circuits 
Week 5
 2018/03/27  Equivalent circuit 
Week 6
 2018/04/10  Midterm 
Week 7
 2018/04/17  Transistor model 
Week 8
 2018/04/24  Transistor Model